ラピダスに「要となる」露光装置がきたー知事も来場し記念式典 着々と４月の試作ライン稼働へ 2024/12/18 北海道千歳市で次世代半導体の国産化を目指す「ラピダス」は、半導体の製造工場に要となる「ＥＵＶ露光装置… 記事全文（外部ページを表示します）